Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров
Автор:
Рассмотрены физико-технологические основы процессов изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств. Описаны перспективные технологические методы производства интегральных полупроводниковых и гибридных микросхем и микропроцессоров, а также используемое технологическое оборудование. По сравнению с первым изданием (1977 г.) материал значительно обновлен и методически переработан.
- 1987 г.
Материалы
Отзывы
Раз в месяц дарим подарки самому активному читателю.Оставляйте больше отзывов, и мы наградим вас!
Цитаты
Вы можете первыми опубликовать цитату