Исследование параметров механизмов микро- и наноперемещений. Учебно-методическое пособие

Приведены материалы для освоения методов оценки точности прецизионных механизмов микро- и наноперемещений в режиме позиционирования, а также методов тестирования активных демпферов для компенсации возмущающих вибрационных воздействий на исследовательское и технологическое оборудование. Особое внимание уделено исследованию перспективных приводов на основе магнито- и электрореологических жидкостей и демпферов на базе магнитореологических эластомеров. В целях более глубокого изучения процессов позиционирования в микро- и нанодиапазоне, закрепления навыков экспериментальной работы и статистической обработки результатов предложены вопросы для самоконтроля. Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана, обучающихся по специальностям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".