Диэлектрические пленки в микроэлектронике

В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и эле­ментах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные тех­нологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики. Определены наиболее характерные особенности практического ис­пользования пленок некристаллических диэлектриков в различных ти­пах современных электронных устройств. Книга рассчитана на инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработки и применения диэлектрических материалов в пленочной электронике и смежных областях.